日本航空電子工業、オオクマ電子、 精密位置決めステージ市場向けチルトステージを共同開発

2025年7月15日

日本航空電子工業株式会社（本社：東京都渋谷区、代表取締役社長：村木正行、以下「JAE」）とオオクマ電子株式会社（本社：熊本県熊本市東区、代表取締役社長：大隈恵治、以下「オオクマ電子」）は、精密位置決めステージ用のチルトステージを共同開発いたしました。
近年、半導体市場では微細化・高集積化に加え、3次元化の進展に伴い、製造装置や検査装置にはこれまで以上の高精度な制御が求められています。今回開発した精密位置決めチルトステージは、装置の基本3軸（X軸、Y軸、Z軸）では補正が困難な、供試体の微細なゆがみや傾きを高精度に補正することが可能です。これにより、加工精度および検査精度の飛躍的な向上を実現します。

今回共同開発したチルトステージの初号機は、2025年９月にオオクマ電子へ納入後、同社製の超微細デジタル光学顕微鏡「ORES-6000シリーズ」に搭載され、解析用として大手半導体デバイスメーカから採用される予定です。
「ORES-6000シリーズ」は、従来はSEM（走査型電子顕微鏡）でしか観察できなかった直径1μmの微細構造を、光学顕微鏡で観察可能にしたオオクマ電子の独自開発製品です。今回のチルトステージとの組み合わせにより、より高精度な観察・分析が可能となります。

超微細デジタル光学顕微鏡 「ORES-6000シリーズ」

今後は、オオクマ電子製の微細レーザー露光・加工装置「ORES-5000」と組み合わせることで、半導体のリペア工程や解析工程への市場展開を進めてまいります。両社は、オオクマ電子の装置開発力とJAEのモーターおよびセンサー技術の強みを融合させ、今後ますます高度化する半導体製造・検査ニーズに対応し、幅広い市場に向けた革新的な製品開発を加速していく予定です。

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